维护保养三坐标测量机的组成比较复杂，主要有机械部件、电气控制部件、计算机系统组成。平时我们在使用三坐标测量机测量工件的同时，也要注意机器的保养，以延长机器的使用寿命。下面重点说明压缩空气维护保养和导轨维护保养 。
压缩空气保养
由于压缩空气对三坐标测量仪的正常工作起着非常重要的作用，所以对气源的维修和保养非常重要。其中有以下主要项目：
1、每天使用三坐标测量仪前检查管道和过滤器，放出过滤器内及空压机或储气罐的水和油。
2、一般3个月要清洗随机过滤器和前置过滤器的滤芯。空气质量较差的周期要缩短。因为过滤器的滤芯在过滤油和水的同时本身也被油污染堵塞，时间稍长就会使测量机实际工作气压降低，影响三坐标测量仪正常工作。一定要定期清洗过滤器滤芯。
导轨维护保养
三坐标测量仪的导轨是测量机的基准，只有保养好气浮块和导轨才能保证测量机的正常工作。三坐标测量仪导轨的保养除了要经常用酒精和脱脂棉擦拭外，还要注意不要直接在导轨上放置零件和工具。尤其是花岗石导轨，因其质地比较脆，任何小的磕碰会造成碰伤，如果未及时发现，碎渣就会伤害气浮块和导轨。要养成良好的工作习惯，用布或胶皮垫在下面，保证导轨安全。
工作结束后或上零件结束后要擦拭导轨。每天都要擦拭导轨油污和灰尘，保持气浮导轨的正常工作状态。
